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SiC結晶転位高感度可視化装置 XS-1

特徴

・SiCウェーハ等の内部に存在する結晶欠陥や内部歪みを高感度かつリアルタイムに可視化する装置です。

・ビジョンサイテック社独自の光学理論と位相差演算処理により、わずかな位相差を捉えることで、様々な結晶欠陥を可視化します。

・従来、可視光での光学顕微鏡観察では不可能と考えられていましたが、XS-1は、X線トポグラフィーに匹敵する結晶転位検出能力を誇ります。

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光学顕微鏡の常識を覆す偏光顕微鏡XS-1

XS-1はパワーデバイス用半導体として注目されているSiCウェーハなどの内部に存在する結晶由来の欠陥(マイクロパイプ、貫通刃状転位、貫通螺旋転位、基底面転位、積層欠陥、インクルージョンなど)を高感度でリアルタイムに可視化する装置です。ビジョンサイテック独自の光学理論と位相差演算処理(特許出願済)により、僅かなリタデーション変化や格子歪の詳細なプロファイルを捉えることで、可視光領域を使用するレーザー検査装置あるいは偏光顕微鏡では捉える事ができない様々な原子レベルの結晶欠陥を観察することが可能になりました。

結晶歪観察に使用される現行の偏光顕微鏡は物体の結晶構造に密接な関係がある偏光や複屈折特性を観察するための光学式顕微鏡であり、コノスコープ観察法やオルソスコープ観察法などが用いられています。しかし観察対象が微小な歪場や転位サイズが原子レベルの格子欠陥である場合、偏光顕微鏡は感度や分解能など、光学原理上適していないと考えられており、また現実に観察は不可能でした。そのため原子変位レベルの歪や微小な転位欠陥の観察や評価・分析を行うには、破壊検査としてエッチングによるエッチピット観察法、非破壊検査ではフォトルミネッセンス(PL)イメージング測定法、あるいはシンクロトロン放射光によるX線トポグラフィーなどの大型放射光施設による観察法しかありませんでした。

XS-1は光学式としての偏光や複屈折特性を基本として、従来にない一軸性極性結晶体に特化した独自の光学系と位相差演算を駆使した技術(特許出願済)でシンクロトロン放射光によるX線トポグラフィーなどの大型放射光施設の観察に匹敵、あるいはそれ以上の情報を得ることに成功しました。それにより材料の評価が現場レベルで可能になり、またそれに要するコストが大幅に軽減されます。

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