【論文掲載】『AIP Advances』に名古屋大学との共同研究成果をまとめた論文が掲載されました。

『AIP Advances』に名古屋大学との共同研究成果の論文が掲載されました。

2025年2月7日

東海国立大学機構名古屋大学原田俊太准教授（未来材料・システム研究所）との共同研究成果をまとめた論文が『AIP Advances』に掲載されました。パワーデバイスSiCウエハの偏光観察とX線トポグラフィによる結晶欠陥評価技術に関する最新の報告です。

掲載雑誌	AIP Advances
論文名	Nondestructive analysis of threading mixed dislocations in SiC using x-ray topography and birefringence
著　者	Shunta Harada, Yasutaka Matsubara, Shohei Hayashi, Michio Kawase, Keisuke Seo, Seiya Mizutani, Yuya Mizutani, Seiji Mizutani, Kenta Murayama
論文URL	https://doi.org/10.1063/5.0238854 ※論文はオープンアクセスでどなたでも閲覧できます。

共同研究「半導体製造の生産性を向上させるキラー欠陥自動検査システムの開発」は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「官民による若手研究者発掘支援事業」に採択されております。