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Mipoxが展開する各種受託研磨加工サービスは、試作から量産への移行、コストダウン、数量増など、ご案件の状況やお客様のご意向により、お客様の製造ラインへの移管「技術移管(プロセス移管)」も対応しております。
お客様にとって、外部の専門家に開発を委ねることは、質の高い結果を得られるだけでなく、お客様社内のリソースを合理的に使用する事が出来るメリットがあります。
研磨加工工法の検討や、研磨加工条件の最適化、研磨加工に使用する各部材の選定、スラリーやパッドの性能評価など、開発案件の受託サービスも承っております。
HPのお問合せフォームより承っております。
営業又は技術部門の担当者が、お客様のご要望をお伺いいたします。ご案件の内容や状況に応じ、機密保持契約を締結いたします。
一連の加工仕様についてお打合せをいたします。仕様決めは、試作・評価の後に行う場合もございます。
締結した契約内容や各仕様に則り、一連の加工(試作)を実施いたします。
当社が持つ加工ノウハウを元に最適な仕上がりが出せるよう、装置・条件をアレンジしご提供いたします。
お客様の製造ラインの安定稼働に必要な研磨材・消耗材を継続的に提供。加え、技術サポートも対応いたします。
技術移管(プロセス移管)の場合、弊社研磨加工サービスで用いた研磨装置や研磨条件、研磨加工ノウハウ等の一式を、お客様の製造ラインへ適切に移管出来るようアレンジいたします。
単一工程の受託プロセス開発は勿論、エッジ・ノッチ面取り加工や、各研磨加工を軸にした、全工程一気通貫でのプロセス開発の対応も可能でございます。
各工程をスムーズにつなぎ、合理的な製造ライン構築をサポートいたします。
お客様での新規プロジェクト(新素材のウェーハ製造)のご案件として、弊社に問い合わせを頂きました。一般的なウェーハメイクの工法が適用し難い新素材に対し、弊社保有の研磨加工ノウハウを適用。エッジ・ノッチ面取り加工や平面研磨加工を軸に、複数の加工工程を貫いたトータルでのプロセス開発を承りました
汎用的なウェーハ研磨加工に用いられる消耗材の材料開発(材料選定)を目的としたご案件を承りました。弊社が保有する研磨装置と評価装置を用い、適切な水準で評価結果を提出。お客様の開発をサポートいたしました。
Mipox の豊富な研磨フィルム製品群から、最適な形式を選定。長年蓄積してきた研磨フィルム活用ノウハウを活用し、「研磨装置・研磨材・加工条件」トータルで最適な研磨加工ソリューションを提供いたします。
砥粒 | 新モース | メッシュ/粒度(㎛) | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Fianl | 20000 | 15000 | 10000 | 8000 | 6000 | 4000 | 3000 | 2000 | 1500 | 1200 | 1000 | 800 | 600 | 400 | 320 | ||
0.03μ | 0.2μ | 0.3μ | 0.5μ | 1μ | 2μ | 3μ | 5μ | 9μ | 12μ | 15μ | 16μ | 20μ | 30μ | 40μ | 60μ | ||
GC (SiC) |
13 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||
WA (Al203) |
12 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
K (Cr203) |
8 | ● | ● | ● | |||||||||||||
ROI (Fe203) |
7 | ● | ● | ||||||||||||||
D | 15 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||
CE (CeO2) |
9 | ● | ● | ||||||||||||||
SO (CeO2) |
8 | ● | ● |
砥粒 | 裏面処理 バックコート |
ベース厚 | メッシュ/粒度(㎛) | 用途例 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
3000 | 2000 | 1500 | 1000 | 800 | 600 | 400 | 360 | 320 | 240 | |||||
5μ | 9μ | 12μ | 15μ | 20μ | 30μ | 40μ | 50μ | 60μ | 80μ | |||||
WA (Al203) |
有り | 125μ | 5mil | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | クランクシャフト カムシャフト 金属シャフト |
WA (Al203) |
有り | 75μ | 3mil | ● | ● | ● | ● | ● | クランクシャフト カムシャフト 金属シャフト |
|||||
CC (SiC) |
有り | 125μ | 5mil | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | クランクシャフト カムシャフト ゴムロール シリコンウェーハ (エッジトリミング) |
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