主にHDD製造用途で培ってきた、電子工業用精密洗浄剤製造技術を、研磨加工サービスに展開しております。

RCA洗浄が適さない（化学洗浄によって表面が変質してしまう）GaN、AlNなどの化合物半導体ウェーハ向け専用洗浄剤を筆頭に、各種ウェーハの材質や研磨加工工程で使用する専用スラリーとセットで効果を発揮する専用洗浄剤。接合処理等の後工程に適した表面性状に仕上げる洗浄剤など、各アプリケーションに適した専用洗浄剤を設計、適用いたします。

洗浄剤のカスタマイズは少量（小案件）から対応。プロセス移管にも柔軟に対応しております。