ファインセラミックス(多結晶・焼結体・複合)材料加工に求められる要件

ファインセラミックスは放熱特性・靭性・等それぞれ特徴を有し、様々な用途で使われています。

Mipoxの研磨加工サービスは、各ファインセラミックス素材に対し、最表面の結晶粒界段差を極限まで抑えたワンランク上の表面精度（研磨面粗さ、表面段差解消）を提供しております。

通常の研磨加工では結晶粒界段差が助長され表面の凹凸が大きくなりやすいファインセラミックス材料に対して、Sa（Ra） 1.0～0.1nm（もしくはそれ以下）の精度を達成することが可能です。これにより、異種材料との直接接合やボイドレス接合が可能となり、その組合せ次第で新たな機能・性能を備えたハイブリッド基板の実現につながる他、成膜工程の負荷軽減（必要成膜量の低減）等、各素材の用途新規創出に貢献します。

材料（材質）名：
AlN、Si3N4、SiC、Al2O3、ZrO2、BaTiO3、PZT、Si、Al2O3/YAG共晶体 　等