【論文掲載】『Acta Materialia』に名古屋大学との共同研究成果が論文として掲載されました。

『Acta Materialia』に名古屋大学との共同研究成果が
論文として掲載されました。

2025年3月31日

東海国立大学機構名古屋大学原田俊太准教授（未来材料・システム研究所）との共同研究成果をまとめた論文が『Acta Materialia』に掲載されました。パワーデバイスSiCウエハの偏光観察とX線トポグラフィによる結晶欠陥評価技術に関する最新の報告です。

掲載雑誌	Acta Materialia
論文名	Numerical simulation of birefringence imaging for threading dislocations in4H-SiC wafers
著　者	Kosei Takahashi, Yasutaka Matsubara, Michio Kawase, Keisuke Seo, Seiya Mizutani, Yuya Mizutani, Seiji Mizutani, Kenta Murayama, Shunta Harada
論文URL	https://doi.org/10.1016/j.actamat.2025.120923 ※論文はオープンアクセスでどなたでも閲覧できます。

共同研究「半導体製造の生産性を向上させるキラー欠陥自動検査システムの開発」は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「官民による若手研究者発掘支援事業」に採択されております。