プローブカード用クリーニングシート｜Mipox株式会社（マイポックス）製品情報サイト

プローブカード用クリーニングシート

あらゆるクリーニングのニーズに応える豊富なラインナップ
半導体前工程のウェーハ検査工程では、不良品の流出リスクを抑えるため専用テスターの清浄度や形状を一定に保つことが重要です。ウェーハ検査工程の精度が低下してしまうと、最悪の場合は、長期間に渡りウェーハ検査を中断したり専用テスターを交換したりする必要があります。 Mipoxのクリーニングシートは、こうした専用テスターの汚れのクリーニングや、形状の形成に効果を発揮します。

製品形状

テープ,シート,ロール,ディスク,特殊形状,装置

用途

半導体,エレクトロニクス,基板・電子デバイス,検査装置

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クリーニングシートタイプ

PET
PETフィルム＋粘着層の研磨構造。強固な付着物の除去に適しております。

・総厚…115μm
・使用環境温度…120℃
・参考OD量…30μm
・針先摩耗性…高い

SWE
基材層が発泡ポリウレタン、樹脂がポリウレタン樹脂の研磨構造（凹凸クッション上に研磨層を形成）。
低ダメージで高効率なクリーニング可能です。

・総厚…450μm
・使用環境温度…120℃
・参考OD量…50μm～80μm
・針先摩耗性…低い

※低塩素タイプ対応シート（FHX）、耐熱フィルムタイプシート（SWF）、発泡径が小さいシート（NWE）もあり。

PF3
基材がフラットクッション層の研磨構造。低ダメージ高効率なクリーニング可能です。

・総厚…300μm
・使用環境温度…120℃
・参考OD量…30μm～50μm
・針先摩耗性…低い

BC3
PETフィルム＋クッション粘着層の研磨構造。
先端摩耗の少ないクリーニングが可能です。

・総厚…410μm
・使用環境温度…80℃
・参考OD量…30μm～50μm
・針先摩耗性…低い

LUAVIS
粘着剤が耐熱粘着剤、基材層がシリコーンエラストマー、研磨剤がSiCの研磨構造。
耐熱性があり、先端摩耗も少なく、弾力性による様々な形状のプローブピンに適用可能です。

・総厚…400μm
・使用環境温度…～160℃
・参考OD量…60μm～80μm
・針先摩耗性…低い

※使用環境温度は推奨となっております。