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明視野

Mipox

特徴

各種半導体ウェーハ・サファイヤ基板・化合物半導体基板などの鏡面(平面)基板の凹凸微細欠陥を対象としたマクロ検査装置です。独自のコリメート照明により表面に存在するミクロンオーダーの微細スクラッチ・ピットを、広大なマクロ視野で検出、観察することが出来ます。特に垂直方向に対する表面粗さや段差表示の分解能はRa=5Å(x1倍時)の検出能力を有しています。平面観察用での明視野方式スタンダード機種であるVMX-2200の他、基板端面部のディティール可視化検査装置のVMW-800P/1200P等、観察対象部位により機種ご選択頂けます。

用途

  • ハードディスク
  • 光ファイバー・
    光コネクター
  • フラットパネル
    ディスプレイ
  • 半導体
  • 化合物半導体
  • 自動車・
    一般研磨関連
  • 試料研磨
  • シャフト研磨
  • フープ材・線材
  • 3Dプリント
    造形品
  • その他表面加工・
    研磨
  • 自動車
  • 自動車補修
  • 鉄鋼・金属
  • 航空機
  • 造船
  • PC基盤
  • 建築・木工
    ・建築金物
  • 石材・硝子

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