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暗視野

Mipox

特徴

各種基板(ウェーハ)・光学フィルター部品の鏡面研磨加工品の、非透明体・完全透明体の超微細欠陥を対象にしたマクロ検査装置です。独自の技術(特許取得済み)である FINE DOME照明により、表面の微細なスクラッチ・ピット・汚れ・パーティクルを検出します。暗視野方式のスタンダードモデルであるVMX-3100、高感度タイプのVMX-4100Napierの他、サブナノメートルのスクラッチや洗浄残渣も検出可能な超高感度モデルVMX-6100等 観察レベルに適した機種選択が可能です。

用途

  • ハードディスク
  • 光ファイバー・
    光コネクター
  • フラットパネル
    ディスプレイ
  • 半導体
  • 化合物半導体
  • 自動車・
    一般研磨関連
  • 試料研磨
  • シャフト研磨
  • フープ材・線材
  • 3Dプリント
    造形品
  • その他表面加工・
    研磨
  • 自動車
  • 自動車補修
  • 鉄鋼・金属
  • 航空機
  • 造船
  • PC基盤
  • 建築・木工
    ・建築金物
  • 石材・硝子

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