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研磨事例-金属材料各種

金属材料各種加工に
求められる要件

Mipox受託研磨は、一般的に高品位な研磨面を得ることが難しいとされている金(Au)やアルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)等の金属材料に対し、Ra 1nm以下の研磨加工を施す事が可能です。特にAu、ルテニウム(Ru)については、弊社が独自に開発した研磨工法を適用し、半導体製造工程(配線工程)向けのCMPプロセスを確立している他、医療用センサ(バイオ用途)、マイクロマシン用等の加工実績を多数蓄積しております。 他、一般的な用途としては、超硬合金(WC)製部品の研磨加工、インクジェットノズル製造に用いられるSUS材の事例が多く、特にSUS材については厚さ数十μmの箔材をスクラッチフリーの鏡面に仕上げられる研磨技術を有しております。

材料(材質)名:
SUS、Cu、Al、Au、Pt、Ru、Mo、Ni、Ag、Ti、W、Fe-Ni、他 Ni-P、Cr等メッキ表面 等

金属材料各種

 

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