研磨しない研磨フィルム!?クリーニングテープ
当社の塗布技術を用いて研磨材を超精密に配列した傷を入れずにクリーニングに特化したテープです。前工程からの残留異物や環境起因の異物を基板対象に傷を入れることなく除去が可能です。
真球形状、かつ粒度分が極端に均一な特殊な研磨材を使用したナノクリーンテープ。研磨(傷)を発生させるような表面突起がないため、傷を入れずに製品に付着した汚れだけを除去することが可能です。また使用する研磨材の材質や粒径を変えることで、除去したい汚れやその付着強度に合わせて選択できます。