東海国立大学機構名古屋大学 原田俊太准教授（未来材料・システム研究所）との共同研究成果がシリコンカーバイド（SiC）とその関連材料に関する国際学会である「International Conference on Silicon Carbide and Related Materials」のInvited Postersセッションにて発表されます。
当社と名古屋大学が研究を進めているパワーデバイスSiCウエハの偏光観察による結晶欠陥評価技術に関する報告です。

【詳 細】
国際会議：International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2024(ICSRM2024)
開催日時：2024年9月29日(日)～10月4日(金)
場　　所：ローリーコンベンションセンター(米国ノースカロライナ州)

発  表 日：2024年9月30日(月)
発表題目：Identification of Threading Mixed Dislocations Having a Large Edge Component Burgers Vector by Polarized Light Observation
著　　者：Shunta Harada, Michio Kawase, Yasutaka Matsubara, Keisuke Seo, Yuya Mizutani, Seiya Mizutani, Seiji Mizutani and Kenta Murayama
プログラム詳細とアブストラクト：https://easychair.org/smart-program/ICSCRM2024/2024-09-30.html


共同研究「半導体製造の生産性を向上させるキラー欠陥自動検査システムの開発」は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「官民による若手研究者発掘支援事業」に採択されております。