富士電機株式会社の論文誌「富士電機技報 第92巻第4号（2019年12月）」に、当社の結晶転位高感度可視化装置「XS-1」を用いたSiC基板の結晶欠陥評価に関する論文が掲載されました。エネルギーマネジメントに貢献するパワー半導体が特集されており、論文「透過型偏光顕微鏡を用いたSiC基板の結晶欠陥評価」にてご紹介頂いております。

掲載論文：  透過型偏光顕微鏡を用いたSiC基板の結晶欠陥評価

＜参考＞
富士電機技報　第92巻第4号（2019年12月）