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観る➁ 微小な傷を捉えるMicro-MAX

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前回から当社の「観る」技術についてご紹介しております技術ブログ“研磨ラボ”。今回は前回に引き続き、どうやってMicro-MAXシリーズが広い視野で微小欠陥の可視化を実現しているのかについてご説明いたします。

 

暗視野系Micro-MAX VMX6500

前回の記事でご紹介したMicro-MAX VMX-3100/6500は暗視野光学系を用いています。暗視野光学系とは観察試料に光を入射し、正規ではない反射光と散乱光のみを観察する光学系を指します。つまり試料の表面にある小さな異物や傷によってイレギュラーに反射や散乱された光のみを捉えて観察するので、通常の観察(明視野観察)に比べて非常に感度良く異物や傷を捉えることが可能になります。

 

暗視野観察の原理

暗視野光学系では入射光に対するイレギュラーな反射、散乱光を観察しますので、試料に対してどのような角度で光を照射するのかというのが非常に重要になります。間違った方向から光を照射しても試料表面の傷は捉えることができません。Micro-MAX VMX-3100/6500は独自に設計したファインドーム照明により高効率に集光し試料表面へ全方位からの照明を行うため、異物や傷の形状や方位によらず、あらゆる欠陥の検出が可能になります。

 

ファインドーム照明による効率的な照明

 

また撮影系においても高分解能で幅広いズーム比を持つマクロレンズを採用しており、暗視野光学系との組み合わせにより最大約30mmの視野で数nm~数μmの欠陥の検知を可能としています。

 

VMX-3100で観察したSiウェーハの表面
パーティクルやあらゆる方位の微小な傷が広視野で可視化されています

 

Mipoxでは当社の「塗る・切る・磨く」技術で仕上げた製品の評価はもちろんのこと、お客様の試料の表面を「観る」ためのデモや受託検査も請け負っております。ご興味をお持ちの方は是時CSE IS室までお問い合わせください。

 (CSE IS室)

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